ПЭО - процесс оксидирования при анодной поляризации электропроводящего материала, находящегося в электролите в качестве рабочего электрода, в высоковольтном режиме, обеспечивающем функционирование плазменных микроразрядов, постоянно загорающихся и гаснущих на различных локальных участках поверхности электрода, как бы (при визуальном наблюдении) перемещающихся по его поверхности

Процессы ПЭО состоят из нескольких, последовательно протекающих стадий:
1) анодирование и/или электролиз с визуально наблюдаемым свечением рабочего электрода;
2) анодирование с наличием множества плазменных микроразрядов, напоминающих искры;
3) анодирование с наличием и более крупных плазменных микразрядов;
4) дуговых разрядов, приводящая к дефектам в покрытиях.